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ナノインプリント装置

ナノインプリントとは?

ナノインプリントとは、露光装置を用いずに凹凸パターンを形成した原版(モールド)を被転写材料の樹脂に押し付け、数ナノメートルオーダーのパターンを技術することをいう。
エッチング技術などと組み合わせて微細加工などに使われ、半導体電子デバイス、記録メディア、化学、バイオデバイス、MEMSなどの産業分野に応用が期待されている。樹脂の硬化方法により光(UV)ナノインプリント、熱ナノインプリントと大別される。
MCKナノインプリント装置NIL-600はUVナノインプリントタイプである。

ナノインプリントで何ができる?

ナノインプリントは転写するパターンを変えることでいろいろな機能を被転写材料は持つことができる。
例えばライン&スペースで偏光、周期的な円筒形上の配列は光の反射を抑える機能を持つなど。
このようにして被転写材料に様々な機能を付加して新しい機能性材料を作ることができる。
さらに、高価な露光装置を用いずにナノサイズの微細加工ができるため安価で量産できるメリットもある。

MCKナノインプリント装置の特長

当社のNIP-600型は特に研究用に焦点をあてて設計された装置である。様々な樹脂の使用を想定して真空チャンバーを装備、熱およびオゾンなどが発生しないLEDランプ(オプションで熱インプリントも可)を採用している。
さらに転写後の欠陥などに応用展開できるように押し付け、離形力もデータログで採取可能である。
このように研究用に最適な装置になっている。
一方量産用に適したRTR(Roll to Roll)タイプも当社従来の技術であるラミネーターと技術融合でき、お客様のニーズに合わせた装置設計が当社は可能である。

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