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ナノインプリント

ナノインプリント装置

NIP-600型

用途

・基板に樹脂を塗布し、モールドでプレス後、UV照射にて樹脂を硬化する。その後モールドを離型することで微細パターンが転写されます。
・ナノインプリントとは熱硬化性もしくは光硬化性樹脂を“基板”に塗布し、原版(モールド)をプレスすることで微細パターンを形成する微細形成技術である。
主な応用分野として以下に挙げられます。
・透明導電性フィルム作製
・タッチパネル高感度化
・FPDパネル薄型化
・FPDパネル輝度向上
・太陽電池効率向上
・LED輝度向上
・FPDパネル視認性向上

特長

・サーボモータープレス採用により高精度な押付力制御可能
・ワーク、モールド間の高精度なギャップ制御可能
・モールド位置、押付力、離形力のログ取得可能
・離型方法もカスタマイズ可能
・Roll To Rollも可能

製品仕様

■サイズ – Device dimensions
(W)620 × (D)500 × (H)1670mm

■基板サイズ – Works size
4inchウェーハ

■プレス方式 – Press system
サーボ駆動

■プレス圧迫 -Press source
0.1kN〜10kN(1000kgf)

■離型 -Mould release
自動動作

■重量 – Weight
150kg

■電源 – Power
AC100V

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