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窒化ガリウム系ドライ洗浄装置
窒化ガリウム系ドライ洗浄装置
Dry washing device for GaN group
成膜装置の治具やダミー基板をドライプロセスで洗浄する装置。
ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適
洗浄可能な治具はSiCコートカーボン、石英等
ダミーウエハに使用するサファイア基板（Al2O3）洗浄可能
高価、長時間のウエット洗浄、それに関する予備品が不要になる。
メンテナンス費用の削減に貢献
作業者に負担がかからない安全設計
